2024年
- ワークショップでの発表、ラボツアー、打ち合わせのため、NIMS@つくばに来ました。
- 介川グループリーダーに磁気トンネル接合を用いたLEDデモ器を紹介していただきました。
- ワークショップでZhang君が発表している様子です。
- ラボツアーで超高性能スパッタ装置など多数の装置を紹介して頂きました。
2023年
- インプリント装置(=熱圧着装置)を立ち上げました。
- 熱圧着のための試料準備をしています。
- 熱圧着している真最中です。
- 多元DC/RFマグネトロンスパッタ装置です。Aチャンバーに試料搬送している様子です。
- Bチャンバーに試料搬送を始めている様子です。
- 多元DC/RFマグネトロンスパッタ装置の全体像です。
- 慶應テクノモールでフレキシブル磁気センサと創発インダクタを展示しました。
- 慶應テクノモールの雰囲気です。
- 高真空蒸着装置の導入端子を修理しています。
- 無事に新しい導入端子を取り付けることができました。
2022年
2020年
2019年
10月
- 12月に東京国際フォーラムで開催される慶應テクノモールの出展準備を行っています。「磁気キャパシタンス素子」のデモンストレーションを行う予定です。
- トーマスが引っ張っているトロッコの中に青い磁石が乗っています。銀色のアルミケースの中に「磁気センサー(=磁気キャパシタンス素子)」が入っています。磁石がアルミケースの隣を通ると、磁気センサーが反応します!
- 上段の青い信号が「キャパシタンスによる磁気検出」です。下段の赤い信号が「抵抗による磁気検出」です。キャパシタンス検出の方が感度が高いことがわかります!
- PC環境を整えました。プログラミング言語・シミュレーションとしては、LabVIEW、C/C++、SPICE(回路シミュレータ)などが使用可能です。第一原理計算の立ち上げも予定しています。
9月
- 化学機械研磨(CMP)装置が立ち上がりました。ナノオーダーで表面を平滑にできます。
- 電流電圧(IV)特性&磁気抵抗(MR)効果測定装置が立ち上がりました。作製したデバイスの電気伝導特性やスピントランスポートを測定できます。
- 原子間力顕微鏡(AFM)が立ち上がりました。デバイスや材料の表面状態を観察できます。電流マッピング観察(c-AFM)もできますので、ナノメートルの領域にどれくらい電流が流れているかも測定できます。さらに、磁気力顕微鏡(MFM)も搭載しています。デバイス・材料表面の磁化状態を観察できます。
- マグネトロンスパッタ装置が立ち上がりました。金、白金、パラジウム、それらの合金の成膜ができます。
- ホイールソー(切断装置)が立ち上がりました。金属、磁性体、ガラスなどさまざまな材料を高精度で切断することができます。タッチパネル式で、操作性や安全性(カバーをしたときのみ動作可能)も抜群です。
- 有機膜作製装置が立ち上がりました。調製した溶液をボルテックスミキサー(写真左)で撹拌し、マイクロピペット(写真右)を使って、基板上に滴下します。この基板を高速で回すことで有機膜を作製します(写真中央)。回転数、滴下量、溶液濃度をコントロールすることで数10ナノメートルの膜厚の分子薄膜を形成できます。
- ヒュームフードを導入しました。電子天秤、超音波洗浄機、ホットプレート、マイクロピペットなどがあります。ここでは主に溶液調整(←有機薄膜形成のための最初の工程)を行います。
8月
5月
- ワイヤーボンダー装置が立ち上がりました。
- ワイヤーボンダーを使って金線をつなげています。電極とデバイス間を簡単につなげることができます。
- ロビン君がワイヤーボンダーを使っています。
- ソフトアルゴンエッチング装置が立ち上がりました。作製した材料や薄膜の表面をエッチング、あるいは、クリーニングできます。
- 研究室の入口にシューズラックやパーティションを置きました。まだ途中ですが、ロビン君や中山君と一緒にカーペットを敷いています。
4月
- 研究室いよいよスタート
- 装置、段ボールなど搬入
- 集光型面内&極MOKEが立ち上がりました。
レーザー光を使って、磁性体表面の磁化状態を調べることができます。 - 磁気キャパシタンス測定システムが立ち上がりました。
クライオスタット(低温測定)も搭載されています。 - 光磁気キャパシタンス測定システムが立ち上がりました。
試料にレーザー光を入射できます。10000ガウスの大きな磁場も印加できます。 - 光学顕微鏡システムが立ち上がりました。
試料の状態を観察したり、配線をするときに使います。動画も撮影できます。撮った映像・画像をWiFiですぐに送れて、スマホやタブレットで見たりできます。 - 高真空蒸着装置がほぼ立ち上がりました。磁性薄膜や有機分子膜を成膜できます。アルゴンエッチング機構や圧着機構も搭載しています。
- ネットワーク&PC環境も徐々に立ち上げています。